第177章 国产DUV光源

作者:女术士之友 加入书签推荐本书

这群投身国产半导体行业的老人们更是感触颇深。

他们当年搞这个的时候……

“造不如买、造出垃圾来卖得又贵,国产不好用。

国产毛病多,你们别做了,还是买德国的光源吧!

搞个光刻机净坑自己人!”

一句句往日刁钻刻薄的话此刻在耳边回响,再看看现在那台光刻机。

“终于有好光源了。”

赵教授摘下眼镜,擦了又擦眼角的泪水,他身旁助理此刻也是以泪洗面。

顾青抿着嘴,摇了摇头。

虽然了解过大夏半导体科研的困难,但他还是低估了当年舆论环境和经济环境对这些科研人员的伤害。

是啊,国外有成熟高端的技术,只需要花钱买,就能享受到完美的服务。

国内还有一群榆木疙瘩,到处求人拉赞助,抠抠搜搜攒钱做实验做开发,好不容易做出点成果,因为没有经过市场适配和反馈升级,有瑕疵。

然后就是铺天盖地的辱骂贬低,甚至“国产高科技产品”被舆论批评成为了“伪劣产品”。

德国货、霓虹货、美版就是好。

而浦东微电子硬是扛着这些流言蜚语,一路埋头苦干,直到现在能量产90纳米的光刻机。

公开资料中描述用的的arf光源193纳米。

这说明如果有更好的光源,光刻机精度将会很快得到提升。

“你不知道啊,核心部件大功率激光器,需要稳定可控达到2万w以上的激光。这种激光器的组件只有德国和美利-坚可以供应。

我们在这一领域和他们差距巨大。因为没有需求,所以几乎没有一家公司能够提供相应的部件。

后来哈工大的老庄替我们牵线,和他们合作后,也不得不选择功率难以提高但不需要大功率激光器的dpp方案作为切入点。

你们公司这个项目做得真的好,真的好。”

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