显然，北春光电所的物镜完美达标，且这一路运来也未让这物镜有任何的磕碰偏差。
“投影分辨率测试通过！”
第一项最重要的测试通过，在场众人都悄然松了口气。
刘师傅更是咧嘴笑了起来，露出长期抽烟的黄牙，沙哑低语道。
“我就猜能过！”
“这台可比咱们原先的机子亮堂多了！这光刺得我眼睛都睁不开！这要是都不通过都没天理了！”
闻言，其余同志也跟着附和起来。
沉闷凝重的场面一时间愈发缓和。
“下一项套刻精度测试。”
“这测试我们轮流来吧，曹文三你今晚先顶上，邵文同志，曲嵩，张伟森，顾江河你们按次序排，直到测试完成。”
套刻精度测试也是光刻机极为重要的一项测试。
不过其测试并非孤立，更像是机器启用前的一整套初始误差建模与补偿模型组建。
相当于将整个曝光场的一整套序列曝光，提前检测出实际的误差，这些测试的误差数据会由计算机计算后生成第一版标准误差补偿参数环境。
与炮弹实际发射的“修正本”有着异曲同工之妙。
只是这项工作可不是当天便能完成的，需要四五天的时间，众人接力轮流完成。
“沈工！没问题！”
…
“吴姐还有克勤同志，咱们趁着这几天抓抓紧，将最后的版图验证完成。”
“争取在这台步进式光刻机测试完成后，开启第一次的流片工作。”
到了集成电路，虽然工艺思路上还是‘平面工艺’那套，但实际的工艺和流程会复杂太多。
晶体管那时还无需“流片”，而到了集成电路这块，流片算是整个集成电路成不成功的决定性标志。