在一次令人筋疲力尽的九十二小时马拉松式连续实验后!
当苏定平双眼布满更深的红血丝、浑身都被化学试剂的味道浸透,死死地盯着最后一块经过浸没式193nm激光精密刻画的特殊配方涂层硅片从显影槽中缓缓升起……
奇迹!发生了!
那块硅片在超高温清水冲洗后展现出的图案清晰度、边缘陡直度、抗蚀刻穿透能力……远远超过了所有人对arf光刻的认知极限!其分辨率竟然逼近了他们之前想都不敢想的——7nm层级!
这完全达到了euv技术节点才能勉强抗衡的制程精度!
实验室里一片死寂!所有人都被那显微镜下呈现出的超精细、近乎完美的纳米级线条阵列惊呆了!
“成了!成了!!!”
一个年轻的技术员终于发出了如同梦呓般的喃喃自语,猛地扑过来抢过显微镜目镜仔细看了几秒钟,突然“嗷”一嗓子,发出了如同饿狼般疯狂的嘶吼!
“真成了!苏总师!袁教授!快看!
这线条!
这分辨率!不是250nm!是7nm!浸没式!我们的浸没式技术……它……它直接把分辨率拔高到了7nm级啊!”
哗——!
整个“蚀影”指挥部瞬间被山呼海啸般的狂喜彻底淹没!
……
凛冽的海风卷着硝烟味,空气绷得如同扯紧的弓弦。雄鹰与毛熊的联合舰队在公海区域劈波斩浪,舰炮高昂,庞大的战斗群释放着赤裸裸的威慑力量。
演习的轰鸣声,透过冰冷的电波,一声声砸在龙夏指挥中心巨大的液晶屏上,更砸在每个决策者心坎。
“欺人太甚!”
一位肩扛将星的老人拍案而起,花白的眉毛倒竖。
“演习?堵在家门口枪炮上膛的演习,这是逼宫!”
“逼的是我们的烛龙。”
首座中央,一位面容沉静却眼神锐利如鹰隼的老者缓缓开口,声音不大,却压下了会议室内所有躁动。