第1163章 镀膜卡关!自研破垄断

作者:十七光年 加入书签推荐本书

“老郑?”

旁边几位副所长看他半天不说话,着急地催促。

郑玉猛地站起身,转过身,脸上因为激动涨得通红,他用力拍着自己的大腿。

“好!好!太好了!苏总工!了不起!太了不起了!”

他几乎是吼出来的。

“这技术!

这精度!别说合格!

这已经比我们掌握的最机密资料里显示的、那个asm公司旗舰机上用的顶级反射镜性能还要强!还要稳定!强一截!”

他一把抓住苏定平的手,握得死紧。

“苏总工!

这份图纸和技术,我们927所,全力配合!我们有全国最好的光学冷加工基地,有最成熟的光学薄膜镀膜产线技术骨干!我敢立军令状!

就凭这张图,这份工艺,我们不但能给你稳定量产符合要求的euv光刻机用反射镜,而且性能,绝对能压asm一头!彻底打破他们在这块铁桶般的垄断墙!”

苏定平感受着手臂上传来的巨大力量,看着眼前这位激动得语无伦次的老专家眼中爆发出的炽热光芒,心中悬着的一块巨石终于落下一半。

“那就拜托郑所长了!时间紧!需要哪方面的协同实验,龙心团队全力配合!”

“没问题!”

郑玉拍着胸脯。

“你这份图纸和工艺一到,就是我们全所的冲锋号!”

几个月后,第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的euv极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统,在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。

当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时,所有人看到那醒目的结论——“核心面型精度rms误差。

≤0.08nm;薄膜层厚均匀度误差。

≤0.09nm;综合光转化效率与稳定性全面超越对标样品”。

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