启动！
嗡——
供件平台和掩模平台在全新的、看不见磁场的无形“轨道”上轻盈地滑动起来。没有刺耳的摩擦噪音，只有一种极细微、几乎可以忽略的稳定蜂鸣。
“真空度。
10^{-7}pa……稳定维持！泄漏信号……零！”
真空工程师的声音带着哭腔，却又充满狂喜。
屏幕上，供件台的位置曲线如同最驯服的野马，在预设的复杂轨迹上，以每秒超过3米的高速奔腾，划出流畅优美的曲线！旁边高精度的干涉仪实时跟踪反馈——动态位置偏差峰峰值。
1.9纳米！重复定位误差。
1.2纳米！
数据！
真实的数据！！！
碾压设计指标的数据！！！
远超asml现有工作台水平的性能数据！！！
整个车间先是一片死寂。
紧随其后的，是山呼海啸般的、几乎要把顶棚掀翻的狂吼！
“成功了——！！！”
“他娘的！真成了！！！”
“神迹！”
袁涛眼眶通红，死死攥着拳头，指甲深深嵌进肉里也浑然不觉！
他一把狠狠抱住旁边的郭雪云，这个硬汉声音哽咽得说不出话。
“老郭……看见没！我说过！