这是最关键的阶段。
在两千度的高温下,热辐射会变得极其复杂。任何一点保温层的微小缺陷,都会导致炉腔内出现巨大的温度梯度。
温度一点点攀升。
1500度。
1800度。
1950度。
赵建兴屏住了呼吸。他的手心里全是汗。
“2000度!到达目标温度!”三个多小时后,助手喊道。
“保温两小时。启动多点温度传感器,监测径向和轴向温度梯度。”陶安然命令道。
屏幕上,十几条代表不同位置温度的彩色曲线,开始在坐标轴上延伸。
时间一分一秒地过去。
车间里安静得可怕。只有外延炉冷却水循环的哗哗声。
“保温结束。开始降温。”陶安然说。
又过了几个小时,炉体温度终于降到了安全范围。
“导出测试数据。生成温度场分布云图。”陶安然走到控制台前。
一张彩色的温度场分布云图,出现在屏幕上。
赵建兴凑了过去。
他死死盯着那张云图。
在碳化硅晶体生长的核心区域,颜色呈现出极其均匀的暖红色。没有刺眼的亮斑(局部过热),也没有暗淡的冷区(局部过冷)。
赵建兴颤抖着手,指着屏幕右下角的数据统计栏。
“径向温度梯度……正负0.3度?”