“这外延炉。看着眼熟啊。”他指着其中一台设备。
“是华科精密的旧型号改造的。”陶安然如实回答。
“华科的旧设备？”王研究员愣住了，“那玩意儿的温场均匀性极差，你们用它来长碳化硅晶圆？”
陶安然没等他继续说，直接怼了回去。
“王老。设备是死的，人是活的。”
她走到控制台前，调出一张温度场分布云图。
“您看看这个。这是我们改造后的热场实测数据。”
王研究员凑近屏幕。
“径向温度梯度。正负0.3度？！”
他摘下防静电帽，用力揉了揉眼睛。
“这不可能！莱茵科技的最新型号也做不到这个精度！”
“我们做到了。”周德明从车间里走出来，手里拿着一个黑色的恒温箱。
他把恒温箱放在走廊的桌子上。打开。
里面静静地躺着一片六英寸的碳化硅晶圆。
通体透明。没有一丝杂色。在走廊的冷光灯下，散发着一种近乎完美的光泽。
“这是我们昨天刚切出来的一批晶圆中的一片。”周德明干巴巴地说，“国家级半导体材料检测中心的报告昨天也出了。微管缺陷率小于0.1个/平方厘米。”
王研究员颤抖着手，从口袋里掏出一个便携式高倍放大镜。
他凑近那片晶圆。
他摘下眼镜。拿出一块眼镜布，仔仔细细地擦了擦镜片。
“我干了三十年半导体设备研究。”王研究员的声音有些沙哑，“我一直以为，我们在第三代半导体材料上，至少落后国外十年。”
他重新戴上眼镜。看着那片晶圆。