为了防止光线被吸收，整个光刻过程必须在严苛的高真空环境中进行。
为了保证套刻精度，承载硅片的机械双工作台，在高速移动和刹车时，其定位误差不能超过几纳米，这相当于两列高速行驶的动车并排行驶，误差不能超过一粒米。
这项被命名为极光的超级工程，几乎抽干了大夏近二十年在材料学、流体力学、精密机械加工和光学领域的全部顶尖心血。
……
【神谕纪元·三五二六年】
王都，大夏半导体核心制造基地。
整整二十年的试错与图纸迭代。
无数次因为碎屑污染反射镜而导致的停机清洗，无数次因为激光对焦差了微秒而导致的光源熄灭。
今天，一台犹如一座两层楼高的小型金属宫殿般的机器，静静地矗立在最高级别的超净间内。
这便是大夏第一台真正意义上实现量产突破的极紫外光刻机原型机。
操作台前，已经满头白发的光学院士，用岁数大太大而忍不住颤抖的手按下了启动键。
真空泵发出低沉的轰鸣，抽干了腔室内的最后一丝空气。
液滴发生器开始工作，激光发生器充能完毕。
“啪！啪！啪！”
虽然在真空室外听不到声音，但监视屏幕上的波形图显示，那每秒五万次的微观核爆正在稳定地产生着珍贵的极紫外光。
光束经过十几面原子级平滑的反射镜不断折叠、校正，穿过刻有复杂电路图的掩模版，最终，精准地打在了下方涂有光刻胶的硅片上。
曝光，移动，再曝光。
几个时辰后，第一批经过euv光刻机曝光、并完成后续蚀刻与封装的硅晶圆，被送到了电子显微镜下。
所有参与项目的顶尖学者，都屏住呼吸，死死地盯着屏幕上放大的微观结构。
没有原本在深紫外光下那种边缘模糊的衍射现象。
一道道沟壑分明、排列极其规整的晶体管栅极线路，如同神明在大地上犁出的完美沟渠，清晰地展现在众人眼前。