赵崇明已在门口等候。
“你就是赵崇明？”
林振邦上下打量这个24岁的年轻人，语气不善：“听说你声称掌握了38nm浸没式光刻机全套技术？”
“是。”赵崇明平静回应。
虽然对方语气不善，但是，到底也是86岁的老大爷，而且，不夸张的说一句，这是真正的国士无双。
自己客气一点也是应该的。
林振邦问道：“你弄得这些专利，这些理论都是你弄出来的？”
“我自己也组建了一个团队！”赵崇明笑了笑。
“好！”
周秉义一步上前，语速如电，“我问你——双工件台在500mm/s高速运动下，如何抑制纳米级振动耦合？你的磁悬浮线圈布局是几极？反馈延迟多少纳秒？”
赵崇明不假思索：“六极halbach阵列，主动阻尼+预测控制，延迟≤12ns。”
吴启明立刻接话：“浸没流体在晶圆边缘的marangoni效应如何补偿？”
“动态密封环+局部温度梯度调控，附图见白皮书第38页。”
“光学像差校正用zernike多项式到几阶？”
“36阶，实时迭代，每曝光场更新一次。”
七位老教授轮番发问，问题从材料热膨胀系数到激光脉冲时序，从真空腔体残余气体分析到洁净室气流组织——
整整三个小时，赵崇明对答如流，无一迟疑。
林振邦盯着他，震惊了。
这小子知道的东西也太杂了吧？
杂也就算了。
关键是，每一样都还是对答如流，很深入。