感觉有些不舒服。
但是,想想也无可厚非。
国内的大环境的确是这样的。
米勒耸耸肩,戴上防静电手套:“行吧,按流程走一遍。反正客户付了加急费,咱们就当看个笑话。”
他熟练地剥离封装,取出那颗标注“pmic-hd38”的电源管理芯片,放入聚焦离子束设备。
“先切个横截面,看看是不是多重曝光拼的……”
屏幕亮起,纳米级剖面图像缓缓生成。
起初,米勒还漫不经心地敲着桌面。
可三分钟后,他动作僵住了。
“这……这不对……”他凑近屏幕,瞳孔骤缩。
林哲察觉异样,走过来瞥了一眼,笑容瞬间凝固。
屏幕上,多层铜互连结构清晰如画,介电层均匀致密,栅极侧墙轮廓锐利如刀锋——这绝非65nm或90nm工艺能伪造的细节。
“液膜边缘效应……”
林哲声音发颤,“这是浸没式光刻独有的特征!水浸界面导致的折射畸变……只有真实曝光才会留下这种痕迹!”
米勒猛地调出线宽测量工具。
38.2nm。±1.1nm。
“上帝啊……”他喃喃道,“这不是演示片……这是量产良品。良率至少90%以上,否则不可能装进市售手机!”
瑞安也挤过来,脸色煞白:“可……可他们半年前连duv光刻机都没见过!怎么做到的?!”
林哲死死盯着那行微缩标识——“smicxhandong(汉东),2007”,手指不受控制地发抖。
此刻,他喉咙发紧,几乎说不出话:“这真是……中国弄出来的?”
怎么可能?