随着机器的提示音,机械臂将曝光完成的硅片取出,迅速送入一旁的显影液槽中进行定影处理。
几分钟后,显影完毕的硅片被直接送到了实验室最核心的量测设备——高分辨扫描电子显微镜(sem)的操作台上。
贺建国亲自坐到了显微镜前,双手握住操作杆,将硅片表面的微观图像投射到实验室的中央大屏幕上,同时会议室的屏幕也同步接入了画面。
画面不断放大。一万倍、五万倍、十万倍。
原本平滑的硅片表面,此刻显现出了一道道极其密集、平行的沟壑。这些就是激光在光刻胶上雕刻出的电路蚀刻线。
贺建国的手指在键盘上快速敲击,调出测量工具,将两条红色的基准线卡在了一条沟壑的两端。
滴。
屏幕右上角,一个绿色的测量数据跳了出来。
【线宽:64.7nm】
不仅达到了65纳米的标准,而且线条边缘极其锐利,没有丝毫的毛刺、晕染和断层,曝光均匀度堪称完美。
整个实验室在这一瞬间陷入了死一般的寂静。
紧接着,“轰”的一声,巨大的欢呼声几乎要掀翻实验室的屋顶。
“成功了!”
“65纳米!初光测试完美通过!”
“干出来了!我们真特么干出来了!”
几名年轻的工程师直接抱在一起嚎啕大哭,那些上了年纪的专家则是激动得浑身发抖,互相用力拍打着对方的后背。
贺建国坐在操作台前,看着屏幕上的数字,眼中竟有些进沙子了,可是在这光刻机实验室里面哪有沙子啊!
会议室里,同样是长出了一口气。
周局长重重地把茶杯放在桌面上,连说了三个“好”字。林副部长和科技部的领导们互相击掌,脸上满是如释重负和狂喜。
“小许!”周局长转过身,一把握住许晨的手,用力摇晃了两下,“你们天宇立下大功了!华国的半导体脊梁,今天算是挺直了一截啊!”
“是大家共同努力的结果。”许晨脸上也露出了由衷的笑容。