夏春秋的左手不停地敲着桌面，整个人处于一种极度亢奋的状态。他甚至站不住，在操作台前来回走了两步，又折回来盯着屏幕，生怕自己看错了。
没看错。
理论仿真的数据完全自洽。深宽比做到了20:1，孔径控制在5微米以内，侧壁粗糙度小于15纳米。
更关键的是，整条工艺路线用的原料和设备，不需要依赖任何一家海外独占的供应商。
气体配比方案是他自己调的，刻蚀化学品的配方是他从巴斯夫时期积累的经验基础上重新设计的，用的是市面上能买到的标准前驱体。
“导师！”
站在他身后三米远的地方，博士生周翰林已经喊了三遍了。
夏春秋充耳不闻。
周翰林往前挪了两步，又喊了一声：“导师，您别太激动了，血压……”
“别跟我提血压！”夏春秋头都没回，一只手在空气中挥了一下，“你懂什么叫激动吗？你这辈子有过这种心情吗？”
周翰林缩了缩脖子，老实说真没有。
加入红星才开始做项目，还没什么成果出现，哪来的激动……
“你们几个都过来。”夏春秋指着屏幕对两个学生说：“你们两个过来看，看清楚了，这个截面图，20:1的深宽比，侧壁角度89.7度，你们知道这意味着什么吗？”
周翰林凑上去看了看，确实很漂亮。孔打得又直又深，干脆利落。
可问题是……
“导师，我知道这个数据很好看，但是，不就是在硅片上打孔吗？”
周翰林挠了挠头，尽量让自己的语气听起来不那么无知，“咱们实验室从去年就在做这个方向，花了这么长时间终于把工艺跑通了，我理解您高兴，但这个技术具体能用在哪儿呢？”
夏春秋愣了一下。
对啊，能用在哪呢？
低头看了看自己的数据，又看了看屏幕上的三维模型，脑子飞速运转。
说实话，他也不太清楚。