许燃写下四个词。
【负折射边缘态物镜】
【多极势阱】
【表面势能模板】
【受控原子自组装】
张怀民盯着白板。
“你要正式放弃缩小投影？”
“对。”
许燃转身。
“传统euv的核心逻辑，是把图案缩小后投到晶圆上。”
“光源越短，物镜越强，掩膜越精，图案越细。”
“这条路能走。”
“西方走了几十年。”
“问题是，他们把每个路口都修成收费站。”
“我们不在收费站排队。”
他点开下一页。
屏幕上，烛龙底座的局部结构出现。
这一次，比大会上多开放了几层参数。
不少专家一眼看过去，后背发紧。
环形量子光场阵列。
负折射物镜组。