第890章 不在西方的收费站排队!烛龙亮

作者:爱吃鱼小仙 加入书签推荐本书

“接盘古平台。”

周群点头。

“已接入离线推演库。”

主屏切换。

盘古平台开始加载三重同伦边界模型。

红色点代表晶圆表面缺陷。

黄色线代表局部势能扭曲。

蓝色网格代表光场势阱。

第一轮推演,故意塞入两万多个缺陷点。

屏幕上,传统光刻图形一层层崩掉。

套刻误差放大。

线边粗糙度扩大。

局部断路。

一片红。

不少晶圆厂负责人脸色发沉。

这就是他们每天面对的噩梦。

许燃开口:

“传统路线怕缺陷。”

“因为你先把图案投上去,再发现地不平。”

“地一歪,后面全歪。”

他按下第二轮推演。

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