第890章 不在西方的收费站排队!烛龙亮
“接盘古平台。”
周群点头。
“已接入离线推演库。”
主屏切换。
盘古平台开始加载三重同伦边界模型。
红色点代表晶圆表面缺陷。
黄色线代表局部势能扭曲。
蓝色网格代表光场势阱。
第一轮推演,故意塞入两万多个缺陷点。
屏幕上,传统光刻图形一层层崩掉。
套刻误差放大。
线边粗糙度扩大。
局部断路。
一片红。
不少晶圆厂负责人脸色发沉。
这就是他们每天面对的噩梦。
许燃开口:
“传统路线怕缺陷。”
“因为你先把图案投上去,再发现地不平。”
“地一歪,后面全歪。”
他按下第二轮推演。