第四百八十三章 我不会让你输

作者:大先生吃土豆 加入书签推荐本书

陈学兵说出这句话,内心也经过了一番挣扎。

扶柳传上位,让张汝京退位,这些事若传出去,以後人们不知会怎样看他。

可事情往往就是这麽反直觉。

柳传还有利用的价值,张汝京继续待在中芯,却是一点好处都没有了。

这一点都不公平,可是...它需要这麽发生。

「陈总,你到底站在哪一边?!」张汝京背起了手,有些激动地问道。

陈学兵早已有了迎接怒火的准备,此时十分冷静地回答:「自然是国产半导体这一边「」

。

「砰!」

张汝京猛地将桌上的诉讼副本拍在桌面上,语气里满是悲愤与倔强:「台积电要我退位?我偏不退!他们告一次,我接一次!1.75亿美元的赔偿我扛了,90nm,甚至65nm的技术难关我闯了,现在你告诉我,要我用退位换和解?这不是妥协,这是认输!是对所有跟着我回国干半导体的兄弟的背叛!」

陈学兵端坐不动,等张汝京的怒火稍歇才缓缓道:「张董,65nm你可以靠193nm浸没式光刻和偏光照明、opc、ret这些光学技巧硬闯过去,可45nm不是光靠技巧就能解决的。

「台积电和英特尔在45nm已经用上了193nm浸没式:na值1:2的光刻机:高na透镜:双重曝光,中芯呢?你们连一台真正的193i都还没完全跑顺,更别说dp工艺整合、套刻精度、ovey控制。

「45nm的栅极cd要求已经到了40nm以下,单靠193nm单曝,衍射极限摆在那里,线宽粗糙度(lwr)、cd均匀性根本压不下去。

「更别说hkmg(高k金属栅)、应变矽、低k介质、铜互连的电迁移问题,这些不是买几台设备就能解决的,需要整个工艺平台的积累。

「台积电在45nm已经做了两年以上的工艺验证,中芯现在连65nm的良率都稳定不了,你告诉我,45nm靠什麽跟他们拼?靠勇气吗?」

这顿输出,把张汝京说哑了。

他没想到一个投资人,竟然跟他讲技术问题,还把问题讲得如此专业和具体。

实际上陈学兵此前对晶圆制造也就知道个流程,晓得哪些工艺比较关键,这次是让辛梦真谘询了dct请来的日本专家,废了很大的劲才把这些专业名词的含义大概掌握,不过根据中芯国际面临的层层技术阻碍,不需要深懂,已经让张汝京无法回答了。

「45纳米,单曝必死,多重曝光是唯一的量产路径。」

陈学兵沉声说罢,又再问道:「如果没有台积电许可,自研多重曝光死路一条,张董你告诉我,你打算怎麽解决这个问题?」

前方全是台积电和inter的专利墙,强做就是专利侵权,甚至没有人家的授权和技术文档,做下去也是成本爆炸。

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