如此精密的系统，却只是系统验证平台和光学实验装置。
它还并不是大众所熟知的euv光刻机！
而真正的光刻机.....
是在这些原理上，再精密千倍万倍！！！
林决接下来要做的......
是将数套精密的的系统耦合，让他们持续稳定运行上亿次的同时，还要消除长期工况下热漂移和振动干扰！
除此之外.....
还有纳米级的重复定位精度，满足晶圆产量的持续产能与良品率等等等等.......
“呼......”
林决长长吐出一口气。
这些难题有劲儿，还真是道阻且长啊。
不过嘛.....
这才有意思！
不难的问题，我还不乐意搞呢！
..........
而另一边。
今天光刻板块的股票猛涨的事情，早已经在网络快速发酵，冲上各大平台热搜！！！
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#天才少年科学家林决，入驻京城光机所实验中心#
#我国光刻机自研道路，或将迎来新的希望？#
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