等整机闭关流程结束。
只需要通过相应的数据,再进行调整的就行。
两边同时进行。
还能够省下一部分时间。
当初面对胡闻洲时,他说他会让胡老看到那台能够和世界一流水平并驾的光刻机。
所以必须争分夺秒了。
而现在。
整机跑完,结果出来。
果然......
由于映射输出端的频率太快,在高电压情况下光路产生偏振,误差也就随之增大了......
在得到林决回答后,卢敬尧立马好奇问着,
“用的什么方法,压频率还是降电压?亦或者通过控制曝光来解决?”
林决轻轻一笑,当即给否了,“都不选。”
“???”
“???”
“???”
蒋墨侧过头看着他,又是好奇又是疑惑,
“都不选?那你想干啥?”
按照他们搞了大半辈子研究的惯性思维来讲。
目前只能调控这三个变量,然后再根据整机环境,慢慢做进一步调整。
林决平静开口,