光刻机如果连这点风险都不愿承担,那还如何前进!?
想了想,林决打开调试日志,问道,
“对了,郑工,在模拟长时间变压中,空间跳变还存在吗?”
“目前还在,依旧有促动器跟不上,镜面发射抖动的情况。”
林决皱了皱眉,这就是工艺材料带来的不可避免的问题。
虽然光控制得很好,但因为损耗和发热,会导致不可避免偶尔出现光路闭环发散情况发生。
“行吧辛苦了,等会儿人到齐了,我们再测试一下。”
“好的。”
说罢,林决来到机器旁检查一番。
不多时。
陈望山,蒋墨等核心专家组成员到齐。
又一轮测试开始了。
林决站在指挥处,“各个工位,报一下状态。”
“光源系统就位。”
“真空系统就位。”
“光路系统准备好了......”
“132路驱动自检通过。”
“数据采集开始,开吧。”
“......”
这一个月以来,众人已经跑过许多流程。
如今已有了相当默契。