谷方绪微微叹气，
“是的。”
“具体问题呢？”
林决转头看了谷方绪一眼，继续问。
“目前核心短板是初期污染控制，团簇均匀分散，rls协同控制。”
林决点了点头，找到相关的工程日志看了看。
然后便发现。
很多试样曝光时，锡挥发会产生严重超标。
这样的情况出现后，会持续污染上游多层反射镜和pellicle保护膜。
但如果将这种情况控制住，材料灵敏度和粗糙度又会同时变差。
属于是一根筋两头堵的难点。
见状，谷方绪继续说道，
“除此之外，上游高产有机配体，底层反射层整套配套链条也不完善......
我们毕竟缺少真实euv整机长期的工况验证平台，所以目前只能做短时间模拟曝光，难以验证晶圆连续晶圆体连续加工稳定性......”
说话间，林决已经快速阅览好几个文件。
“好的，具体情况我下来再看看。”
林决说着，将文件拿起放在腋下，然后伸出手，
“谢了谷教授，希望我们能共同进步，将这个难关彻底突破！”
谷方绪看了看眼前这个少年还略显稚嫩，但却充满了自信的脸庞，心中不禁泛起些许涟漪。
“那好！共同进步！”
说罢，两人紧紧握手。