是彻底抛弃化学键成像机制,利用自主构建euv激发二次电子,通过静电场缔合,完成溶解度切换。
全程不破坏分子结构,不拖落配体!
其中,最让林决满意的是,这种方法从根源上.......
完全解决了传统光刻胶材料最大的问题———
真空出气污染!!
目前全世界做法。
只要进行曝光,那么必然产生有机碎片。
如此一来,金属小分子便必然会挥发,然后逆流,给光路镜面,pellicle薄膜造成污染。
这是传统方法不可逆的缺陷!
但林决却能大力出奇迹,直接窥探到一条全新路径。
.........
“笼促配位团簇?”
众人看着屏幕上那前所未闻的名词,神情都是有发懵。
见状,林决将ppt画面切掉,关于创新思路的相关理论出现在众人眼前。
“在我的新方案中,要用到的核心理论,来自于笼腔电子势自捕理论,配位零解离稳定,库仑场可控缔合,无扩散局域反应......”
这些理论在高端功能材料,配位凝聚态领域,都是非常前沿的分支。
在座作为国内顶尖材料方面学者,对其基本都是有所涉猎。
不过在他们印象中。
像库伦可控,局域无扩散这俩理论。
以往都是用于设计储能,电响应软物质的.......
众人还是头一次看到,有人将他们用到极紫外感光成像之中来!