第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路

作者:带带葫芦侠 加入书签推荐本书

始作俑者林决只是微微耸肩,以表无辜。

终于......

在约莫十分钟的争论后,现场氛围终于逐渐缓和。

袁泽成作为在座最有资历的工程师,此时被推出来发问,

“林......林教授,我还是有个疑虑......”

“请说。”

“笼促结构人工合成难度极高,您也清楚,只要存在少量破笼,整个euv高能光子依旧会被打乱。

最后导致的结果,和真空污染其实并没有什么差别......”

“是的。”

林决点了点头,并未否认这套理论的缺陷。

闻言,袁泽成继续道,

“......从工程上来说,我们还没成熟的产业链......容错率太低,沉没到时候拉都拉不回来......”

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