他却不知道,电话那头的齐磊已经有答案了——浸润式光刻机!!
euv llc当下在搞的技术攻关,就是浸润式光刻机,也就是湿刻法。
就在鲍尔森还懵着的时候,齐磊滴的一声把电话挂了。
鲍尔森人傻了,什么情况?断线了?
再给齐磊拨过去,那边却是占线。
齐磊的电话是打给拜伦.奥古斯特的。
刚一接通,齐磊的问题连珠炮似的打出去。
“台积电今年有增产计划吗?他们退订了尼康的光刻机,却扩建了净水规模,这合理吗?”
“还有,你听没听说过湿刻法?”
拜伦就喜欢老板这么直来直去的,而且是在他擅长的领域,一点不废话。
“据我所知,台积电没有增产计划。”
“第二,都退订了,还要那么多水干什么?有病啊?”
“第三,什么是湿刻法?你又不懂技术,别瞎出主意!”
齐磊,“挂了!”
现在,他可以基本确定,euv llc就是在搞湿刻。
在湿刻法,也就是浸润式光刻机出来之前,几大光刻机厂家,包括尼康、阿斯麦等等,都是干刻。
所谓光刻,就是把光打在掩模板上,再投射到晶圆上面,使得晶圆上的光学胶水发生反应,行程电路的过程。
干刻时代,从光源到掩模板再到晶圆是在气体介质中完成光刻的,极限就是193纳米。
而湿刻,顾名思义,就是把在气体介质中进行的光刻过程移到水里。
具体怎么回事儿,反正齐磊也不懂,就知道湿刻比干刻有优势,可以在不改变光刻机其它部件和精度的情况下,突破193纳米的极限。
这也是齐磊在后世的报道中得到的只言片语。