第283章 齐磊没空

作者:苍山月 加入书签推荐本书

他却不知道,电话那头的齐磊已经有答案了——浸润式光刻机!!

euv llc当下在搞的技术攻关,就是浸润式光刻机,也就是湿刻法。

就在鲍尔森还懵着的时候,齐磊滴的一声把电话挂了。

鲍尔森人傻了,什么情况?断线了?

再给齐磊拨过去,那边却是占线。

齐磊的电话是打给拜伦.奥古斯特的。

刚一接通,齐磊的问题连珠炮似的打出去。

“台积电今年有增产计划吗?他们退订了尼康的光刻机,却扩建了净水规模,这合理吗?”

“还有,你听没听说过湿刻法?”

拜伦就喜欢老板这么直来直去的,而且是在他擅长的领域,一点不废话。

“据我所知,台积电没有增产计划。”

“第二,都退订了,还要那么多水干什么?有病啊?”

“第三,什么是湿刻法?你又不懂技术,别瞎出主意!”

齐磊,“挂了!”

现在,他可以基本确定,euv llc就是在搞湿刻。

在湿刻法,也就是浸润式光刻机出来之前,几大光刻机厂家,包括尼康、阿斯麦等等,都是干刻。

所谓光刻,就是把光打在掩模板上,再投射到晶圆上面,使得晶圆上的光学胶水发生反应,行程电路的过程。

干刻时代,从光源到掩模板再到晶圆是在气体介质中完成光刻的,极限就是193纳米。

而湿刻,顾名思义,就是把在气体介质中进行的光刻过程移到水里。

具体怎么回事儿,反正齐磊也不懂,就知道湿刻比干刻有优势,可以在不改变光刻机其它部件和精度的情况下,突破193纳米的极限。

这也是齐磊在后世的报道中得到的只言片语。

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