“对了，这个反射能量损失能随着镀层薄膜以及反射层的重叠方式、数量以及打磨方式而降低。”
“对极紫外光的最低反射能量损失能降低到百分之十左右。”
韩元的话说出口，直播间里面的观众并没有多大感觉，照常嘻嘻哈哈的各种插科打诨。
毕竟百分之三十的损失率降低到百分二十也只是降低了十个点。
即便是降低到百分之十也只有二十个点而已。
再加上韩元也没有说降低了这些损失率能有多重要，所以这一极为重要的信息直接就被绝大部分的观众忽略掉了。
倒是有一些观众在不明觉厉习惯性的刷着牛逼、厉害等话语，不过他们也不知道这到底代表着什么。
但收看直播的各国光学专家就不一样了。
在听到这种新式制备的‘分布式布拉格反射器’能将反射能量降低到百分之十的时候，仿佛脑门上被人拍了一板砖一样，顿时感觉人有点头晕目眩。
且不说最低反射能量损失可以达到百分之十，就是能降低百分之一，都是一个极大的突破啊。
要知道受限于极紫外光的特殊性质，即便是在真空中，它也很容易被包括镜头玻璃内的材料吸收。
所以需要euv光刻机中才需要使用反射镜来代替透镜。
但普通打磨镜面的反射率还不够高，需要复式镜面设计。
也就是可以将多层的反射集中成单一反射的‘布拉格反射器’。
而目前的人类制造出来的‘布拉格反射器’每一次反射极紫外光光源都会损失三成左右的光线能量。
但一台euv光刻机得经过十几面反射镜，才能将极紫外光从光源一路引导到晶圆上。
到最后，能用于雕刻的光源，大概只能剩下不到百分之二的光线。
这也是光源激发器的为什么需要超大功率的原因。
毕竟在传播途径中就损失了绝大部分的光线，到最后刻蚀到晶圆上的光线能级压根就不够。
如果能降低光能反射损失率，哪怕是一个点，对于极紫外光源的强度要求就会下降好几个点。
更别提百分之十甚至是百分之二十的损失率降低了。