反之,则是负性类型光刻胶。
硅基芯片是这样的,但碳基芯片不是。
碳和硅,就单质性质来说,碳的稳定性是要大于硅的。
而在两者的半导体材料这一样,石墨烯晶圆的稳定性同样要大于单晶硅晶圆。
所以真正高精度的碳基光刻胶只有一种,那就是负性光刻胶。
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