别说石墨烯这种理论基础材料制备了。
就是碳纳米管、碳纳米球这些粉末级的碳纳米材料都有可以用来进行制造碳基芯片。
其中有些在性能方面还要超出石墨烯单晶晶圆制备的碳基芯片，但韩元依旧选择了这个。
主要原因就是石墨烯单晶晶圆引出来了‘轨道杂化理论’。
而引出来的‘轨道杂化理论’能在一定程度上加强各国的化学学识。
当然，还有一个原因就是华国在石墨烯单晶晶圆这条路上走的最远，最方便华国接收。
人嘛，都是有私心的，韩元也不例外。
虽然现在他的目标已经转换，但这并不代表就要平等对待各国。
科学无国界，但科学家是有国界的。
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模拟空间，化学实验室中，韩元已经完成了对石墨烯单晶晶圆的处理。
下一步是对其进行光蚀。
也就是所谓的光刻机加工。
离子注入不在这一步，离子注入需要在光刻机加工完后才能进行处理。
如果使用光刻机进行加工碳基芯片的话，其步骤和加工硅基芯片是一样的。
第一步是制造晶圆，硅基芯片的晶圆材料是单晶硅，碳基芯片的是石墨烯单晶。
当然，除了石墨烯单晶外，碳基芯片还可以使用碳纳米管、碳纳米球这些碳纳米材料的制备的。
这并不冲突。
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晶圆制造完成，纯度等条件符合要求后第二步就是对进行涂膜。
这一步其实就是保存晶圆的步骤。