而苏翰说的国产光刻机之前还处于第一代的水平。
说完了光源问题又要说说曝光工艺的问题。
毕竟光源和生产工艺缺一不可。
现在的光刻机曝光工艺总共分为三种。
第一种接近式曝光。
第二种接触式曝光。
第三种投影式曝光。
接触式曝光精度很高。
但接触式曝光需要接触晶圆片，容易造成晶圆片和掩膜版的损伤，良品率低，成本高，不适合大规模生产。
现在几乎没人用了。
接近式曝光，虽然不触碰晶圆片，没有损伤，良品率也高。但接近式曝光也有自己的问题，就是有光线衍射问题，光线衍射以后分辨率低。想要提高良品率，只能损失分辨率。
生产处的芯片精度太差自然也没人用了。
投影式曝光会在掩膜版和光刻胶之间使用透镜聚光来提高分辨率。
所以投影式曝光工艺是眼下芯片加工的主要工艺。
不过投影式曝光只是大方向。
下面还有不同的加工工艺分支。
如进步式、扫描式、离轴同轴等等……
其实芯片制造的难点就在这些加工工艺上了。
不同的加工工艺代表了不同的生产速度和良品率。
生产效率自然不可同日而语。
而国内的光刻机之前的光源技术还停留在一代的水平。