他负责的是工作量最大且要求严苛的机械部分。
笨重的高压汞灯光源，复杂的冷却管路以及控制光路的精密遮光板机构。
沈永健起身前去，身前这个“大家伙”已然有了光刻机的雏形。
随着他将电镜模组与各光学镜头模组安装完毕，观察投射在模拟硅片上的光斑形状和均匀度，再反复调整遮光板和聚光镜的位置。
“…再左移一点…好，停！就是这个位置，固定死！”
在他果断下令后，刘师傅立刻用特制的工具将螺栓牢牢锁紧。
这台崭新的56型接触式光刻机终于正式装配完成。
它占地面积极大，比起原先的土光刻机都要大上一圈。
原因也简单，毕竟原先的土光刻机并不承担那些大照相机等后续的工作。
而如今完整的光刻，除了最后封装外皆会在这台机子上完成。
几人眼下还来不及高兴，曹文三与曲嵩二人正将预先涂布好光刻胶的硅片交由沈永健装入工件台上。
首件光刻的测试，才是决定这台光刻机能否投入工作，是不是正式制成的关键。
沈永健深吸了口气，尽可能地平复心绪，透过镜头将硅片的复杂电路与掩膜版精确对准。
而卓邵文负责操作精密的真空吸附装置固定硅片和掩膜版。
“x轴偏差0.05微米，y轴…0.03微米…旋转偏差…修正完毕！”
初步手动校准后，完成最后一道电镜的自动校准，沈永健从操作台退后一步。
“对准完成！准备曝光！”
其余几人同样跟着后退，撤出设备的核心区域，目光跟随着沈永健按下了启动按钮。
嗡——
高压汞灯瞬间点亮，炽白的光线经过复杂的光学系统，穿透掩模版，精准地投射在涂有光刻胶的硅片上。
设备内部传来冷却液循环的水流声和精密机械运转的细微蜂鸣。