第92章 56型接触式光刻机制成!

作者:这肉有毒 加入书签推荐本书

预设的曝光时间在紧张而寂静的空气中一秒一秒地流逝。

所有人脸上都不免闪过紧张与期待。

饶是沈永健也一样,他对理论图纸有信心,但最终组装成的设备也没法一次保证能成,万一有个别零件不合格等,都会影响这台精密机器的运转。

“叮!”

终于!

计时器清脆的提示音打破了沉寂,曝光结束。

沈永健立刻上前,小心翼翼地取下硅片。

卓邵文迅速准备好显影液槽,当硅片浸入显影液,经过短暂的化学反应和冲洗后,被放在高倍显微镜下。

沈永健第一个凑近目镜,显微镜视野中,清晰地呈现出一组极其微小的,边缘锐利的线条图案。

正是掩模版上设计的晶体管电路图形!

运气不错!

哪怕是这个不太稳定成功率不高的光刻胶,这次竟也一次便成,将图案精确地转移到了硅片上!

“成了!”

卓邵文紧接着凑上前朝目镜观察,也是第一个在这半夜的研制车间喊出声。

声音因激动而有些沙哑,疲惫的脸上瞬间被巨大的喜悦和难以置信的光芒点亮。

曹文三与曲嵩二人同样兴奋的上前确认。

最后就连刘师傅都在几人兴奋的起哄下,凑近目镜看了眼他完全看不懂的图案,嘴上也跟着激动确认道。

“好啊!这是真整成了吧!?”

“是成了!”

沈永健言语中也透着股轻松,56型接触式光刻机,可以说是国内第一台真正的光刻机。

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