第1168章 野田赌命锁死科考船

作者:十七光年 加入书签推荐本书

命令如狂风骤雨!整个车间瞬间被点燃!所有人忘记了疲惫,忘记了怀疑,像奔向圣水的沙漠旅人!接线!调试!开机!

那小小的银灰色“黑盒子”被小心翼翼地接入光刻机主控系统庞大的接口阵列中。

嗡——

一声低沉的启动自检蜂鸣后。

嗡!!!!!

驱动供件台和掩模板的双工位精密伺服马达首次发出了极其悦耳柔和、如同龙脉苏醒的顺畅嗡鸣!

联接着两台工作台最高精度激光干涉仪的巨型监控屏幕骤然亮起!

无数代表着位置、速度、实时误差、温度补偿、微振动抵消效能的复杂曲线,如同被造物主亲手绘制、被无形的上帝之手梳理熨平,以前所未有的清晰、稳定、柔顺的方式舒展开来!流畅!高效!精准得令人灵魂颤栗!

动态位置误差峰峰值。

0.8纳米!

掩模同步补偿延迟。

微秒级!

稳定性冗余度。

120%!

远超之前任何理论预测!

远超asml控制系统对外模糊公布的综合性能指标!

一个全新的、充满了龙夏风格的、为龙夏自研硬件平台量身定制的、拥有完全自主核心算法的“光刻机大脑”——在此刻诞生!

寂静!绝对的寂静!

然后——

轰!!!

不是欢呼!

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