而是一大片不由自主倒抽冷气的震撼声浪!如同台风过境!
所有人都盯着那屏幕上如同艺术般精确运行的数据曲线,如同目睹神迹降临!许多人捂住了嘴,眼泪不受控制地涌了出来!
袁涛死死盯着屏幕,身体僵硬如同石化,足足过了十几秒,他才抬起手,狠狠抹了一把脸,脸上分不清是汗水还是泪水。
他没有高喊,只是用尽全身力气,从喉咙深处挤出两个嘶哑到变调的字。
“真……行!”
整个光刻机所有硬件到软件、从材料到工艺、从光源到镜头的、最后一个!最坚固!最无形!也曾被认为最不可逾越的障碍——彻底崩塌!龙夏,完全实现了euv光刻技术的全链条自主!
那条被西方吹嘘为需要集成全球数千家顶级供应商智慧的产业链神话,被龙夏独自击得粉碎!
一个月后。
龙夏部落腹地,深藏于群山环绕中的一体化军工厂,戒备最为森严的“甲字1号”芯片超洁净车间。淡黄色的无尘灯光像瀑布般均匀洒落,照亮着中央区域那个庞然大物。
那是整个龙夏工业皇冠上刚刚镶嵌上去的、最耀眼夺目的新星!
——“龙光刻-1号”。
由龙夏部落自主研发、自主知识产权的极紫外光刻整机!
它巨大的骨架银光流淌,复杂的管道与线缆如同精密的神经丛,巨大的真空腔体如同钢铁巨兽的心脏,而那经过无数次千锤百炼、最终稳定激射出纯粹13.5nm极紫外光的光源核心,则散发着微微的幽蓝光芒。
两台工作台在磁悬浮轨道上待命微颤,等待着注入生命的指令。
空气中弥漫着一种无形的、令人心悸的静电场。没有欢呼,没有喧哗,所有穿着最高等级防尘服的研究员、工程师、军工厂的八级老师傅,全都屏息凝神,如同环绕着圣物的信徒。
苏定平站在主控台前,手指最终按下了启动键。
无声的洪流开始奔腾。
硅晶圆载入、真空舱闭合、激光预热、掩膜版精准对位……
极紫外光源骤然点亮!
那束无形的、足以刻画出星球文明新地图的光束,经过数十片自主生产、精度逆天的反射镜折射、聚焦,精准地投射在涂满光刻胶的硅片上!
刻蚀!显影!……