林决倒是没怎么过问了。
他现在的大部分时间，依旧还是花在euv多层膜误差上。
.......
转眼。
20天时间匆匆而逝。
这天下午。
京城光机所。
实验室内。
在这两周里，实验室调动所有的人力物力，进行了单块镜面校验，叠加镜面校验，全局光路盲测。
此时.....
全链路波前误差400次的平均结果在屏幕上显示出来：
【全链路波前误差：0.18nmrms】
【波前峰谷误差：0.72nmpv】
【成像对比度：71%】
【24小时波前偏移：＜0.01nm】
【24小时套刻精度：1.8nm】
当看到这个数据，整个实验室的工程师们不由为之一震！
紧接着，一股巨大的喜悦涌上众人心头！！
这绝对是巨大的进步啊！！
要知道。
目前在国际上......