全链路波前误差0.15nmrms以内，加对比度上70%，再加24小时套刻精度进入2nm，这几组数据同时达标，便标志着真正的与世界一流接轨了！
而现在呈现出的数据呢？
虽然在400次的测试中，全链路拨前误差，仍旧差了0.03nmrms！
但在过程中......
有近2成的情况，全链路拨前误差都能够压到0.12以下！！！
这代表什么？
代表林决这套方案，已经完全能够euv反射镜多层膜的原位相位非均匀性误差问题的！
至于那0.03的差距......
那并非是林决方案的问题，而是设备和材料上工艺上的差距！！！
而且....
就算存在这种差距，现在看来也并非不能解决！
这一刻.....
以前在众人在光刻机研发中，那种只能望其项背的感觉，在这一刻......彻底消失了！
他们不但能够迫近，甚至偶尔能够做到超越一流标准的数据了，这是在以前想也不敢想的事情！！！
“成了！连续四百组不同工况中，我们也能跑出稳定的结果了！！！”
在众人噤声屁片刻后。
在操控台的蒋墨双手握拳高举，做出了污渍请为我欢呼的香槟手势，
“一个月都没到啊，咱们就把光路测试完成了，还有谁！还有谁啊！？”
什么叫队友强，我猖狂？
请看此时的蒋教授，可谓演绎得淋漓尽致！
房怀年见状，没好气道，